鍍膜儀是目前鍍膜行業(yè)應(yīng)用廣泛的真空設(shè)備,隨著行業(yè)的發(fā)展,各種類(lèi)型的鍍膜儀也在逐漸出現(xiàn)。但大部分人并不了解鍍膜儀的工作原理。鍍膜儀主要是由真空室、真空機(jī)組、電氣控制柜三大部分組成。真空設(shè)備也分好多類(lèi)型和型號(hào),種類(lèi)、用途不一樣,其型號(hào)也就不一樣,但它們的工作原理是相通和類(lèi)似的。
鍍膜儀的基本技術(shù)要求說(shuō)明:
1.設(shè)備中的真空管道、靜態(tài)密封零部件(法蘭、密封圈等)的結(jié)構(gòu)形式,應(yīng)符合GB/T的規(guī)定。
2.在低真空和高真空管道上及真空鍍膜室上應(yīng)安裝真空測(cè)量規(guī)管,分別測(cè)量各部位的真空度。當(dāng)發(fā)現(xiàn)電場(chǎng)對(duì)測(cè)量造成干擾時(shí),應(yīng)在測(cè)量口處安裝電場(chǎng)屏蔽裝置。
3.如果設(shè)備使用的主泵為擴(kuò)散泵時(shí),應(yīng)在泵的進(jìn)氣口一側(cè)裝設(shè)有油蒸捕集阱。
4.設(shè)備的鍍膜室應(yīng)設(shè)有觀察窗,應(yīng)設(shè)有擋板裝置。觀察窗應(yīng)能觀察到沉積源的工作情況以及其他關(guān)鍵部位。
5.離子鍍沉積源的設(shè)計(jì)應(yīng)盡可能提高鍍膜過(guò)程中的離化率,提高鍍膜材料的利用率,合理匹配沉積源的功率,合理布置沉積源在真空室體的位置。
6.合理布置加熱裝置,一般加熱器結(jié)構(gòu)布局應(yīng)使被鍍工件溫升均勻一致。
5.工件架應(yīng)與真空室體絕緣,工件架的設(shè)計(jì)應(yīng)使工件膜層均勻。
8.離子鍍膜儀一般應(yīng)具有工件負(fù)偏壓和離子轟擊電源,離子轟擊電源應(yīng)具有抑制非正常放電裝置,維持工作穩(wěn)定。
9.主要環(huán)境條件:
?、侪h(huán)境溫度:10-30℃;
?、谙鄬?duì)濕度:≤75%;
?、劾鋮s水進(jìn)水溫度:≤25℃;
④供電電源:380V三相50Hz或220V單相50Hz(由所用電器需要而定);
?、菰O(shè)備周?chē)h(huán)境整潔,空氣清潔,不應(yīng)有引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導(dǎo)電的塵?;驓怏w存在。