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認識下探針在半導(dǎo)體測試行業(yè)的重要性

更新時間:2022-11-04  |  訪問量:609
   探針是一種采用鎢或鎢合金制成的細長狀的鎢制品,具有耐高溫、硬度高、導(dǎo)電性好等優(yōu)點,可充當電極材料用于氬弧焊技術(shù)中,也可做儀器的探針使用,還可用作解剖針。
  探針采用高純鎢、錸等原材料,特殊的生產(chǎn)工藝,確保鎢錸合金具有較高的均勻性與致密度,生產(chǎn)的探針在導(dǎo)電率、彈性模量、耐用性、力學強度等可滿足需求??筛鶕?jù)要求定制針尖形狀,有尖銳、平臺、圓弧等形狀,范圍從微米到納米級。
  鎢探針主要用于半導(dǎo)體的終測試階段。用來連接芯片和測試板的鎢探針是影響接觸和電氣特性的一個重要因素。通俗來說,探測鎢針的存在是為了識別良品和不良品。鎢探針通常被安裝在探針卡或探針臺上。它被制成具有精細的尖形狀。這是為了讓它在與芯片接觸時不對芯片電極本身造成損傷。
  半導(dǎo)體測試探針要求材料具有高純度和高精度,可以是采用錸鎢合金打造而成的合金探針,也可以是采用純鎢打造的純鎢探針。其中,錸鎢合金的接觸電阻比鎢稍高而抗疲勞性相似。相對于純鎢來說,錸鎢合金的晶格結(jié)構(gòu)更加緊密,因此錸鎢探針頂端的平面更加光滑。這意味著錸鎢探針的頂端被污染的可能性更小,更容易清潔,其接觸電阻也比鎢更加穩(wěn)定。
  當然,在半導(dǎo)體測試中,探針的其他參數(shù)也會影響到測試結(jié)果,如針尖的直徑與形狀、觸點壓力以及探針臺的平整度等。因此鎢探針也經(jīng)常采用高純鎢打造而成,且具有超細針尖,表面光滑無傷,光潔度能達到Ra0.25以上。
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